国家/地区 美国(11)
IPC部 C(11)
IPC大类 C01(11)
IPC小类 C01B(11)
IPC C01B031/02(10) B82Y030/00(7) B82Y040/00(7)
C01B031/04(7) C23C016/26(6) B32B009/00(4)
B05D003/02(3) H01B001/04(3) B82B003/00(2)
C01B031/00(2) C01B032/186(2) C23C016/44(2)
H01L021/04(2) H01L021/20(2) H01L021/205(2)
发明人 KIM H K(2)
公开年 2011(8) 2012(2)
申请年 2010(11)
专利权人 JAPAN SCI TE.(2)

AGO HIROKI, ITO YOSHITO, TANAKA IZUMI, MIZUNO SEIGI, TSUJI MASAHARU, AGO H, ITO Y, TANAKA I, MIZUNO S, TSUJI M, MIZUNO K