国家/地区 欧洲专利局(EPO)(7)
IPC部 B(7) C(7) H(5)
IPC大类 B82(7) C01(7) H01(5)
C23(3) C30(2)
IPC小类 B82Y(7) C01B(7) H01L(4)
C23C(2) C23F(2) C30B(2)
H01B(2)
IPC B82Y030/00(7)
发明人
公开年 2013(3) 2011(2) 2012(2)
申请年 2011(7)
专利权人