国家/地区 中国(38)
IPC部 C(20) H(14) B(6)
G(5)
IPC大类 H01(14) C01(10) B01(4)
C23(4) G01(4) C08(3)
C30(3) B82(2) C09(2)
IPC小类 H01L(14) C01B(10) B01J(4)
C23C(4) C08K(3) C30B(3)
G01N(3) B82Y(2) C09K(2)
IPC C01B031/04(8) H01L021/205(4) C08K003/04(3)
C23C016/26(3) H01L021/324(3) B01J021/18(2)
B82Y040/00(2) C01B031/02(2) C09K011/65(2)
C30B025/18(2) C30B029/02(2) G01N027/04(2)
H01L021/02(2)
发明人 ZHANG J(38)
公开年 2013(26) 2012(12)
申请年 2012(38)
专利权人 UNIV XIDIAN(15) CHINESE ACAD.(2) HARBIN INST .(2) UNIV EAST CH.(2)
UNIV EAST CH.(2) UNIV JILIN(2)