国家/地区 中国(6) 美国(4) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7) C01(5) H01(4)
B32(2) B82(2) H05(2)
IPC小类 C23C(7) C01B(5) H01L(4)
B32B(2) B82Y(2)
IPC C23C016/26(7)
发明人 DENG P(2) GUO H(2) LEI T(2)
ZHANG K(2) ZHANG Y(2)
公开年 2012(5) 2013(2)
申请年 2012(7)
专利权人 UNIV XIDIAN(3) DENG P(2) GUO H(2) LEI T(2)
ZHANG K(2) ZHANG Y(2)