国家/地区 中国(8) 韩国(7) 世界知识产权组织(5) 美国(4) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2)
IPC部 C(15)
IPC大类 C23(15)
IPC小类 C23C(15) C01B(9) B82Y(3)
H01L(3) B01J(2)
IPC C23C016/44(15)
发明人 JEON S(2) LEE J(2) OH S(2)
公开年 2013(9) 2012(4) 2014(2)
申请年 2012(15)
专利权人 KOREA ADV IN.(2) KOREA ADVANC.(2)