国家/地区 韩国(28) 美国(28) 欧洲专利局(EPO)(6) 中国(5)
IPC部 H(27) B(21) C(15)
G(5)
IPC大类 H01(27) C01(12) B82(11)
B01(7) B32(6) C23(5)
B29(2) B41(2) G03(2)
IPC小类 H01L(25) C01B(12) B82Y(9)
B32B(6) B01J(5) C23C(5)
H01B(4) B01D(2) B29C(2)
B41M(2) B82B(2) G03F(2)
H01J(2)
IPC H01L029/16(14) C01B031/02(11) H01L029/78(9)
H01L021/02(8) H01L029/786(8) H01L029/66(7)
C01B031/04(6) H01L021/336(6) H01L029/06(6)
B32B009/00(4) B82Y040/00(4) H01L029/778(4)
H01L021/027(3) H01L029/10(3) H01L035/34(3)
发明人 LEE J(11) LEE J H(11) CHUNG H(8)
HEO J(8) BYUN K(7) BYUN K E(7)
CHOI J(7) CHUNG H J(7) HEO J S(7)
PARK S(7) PARK S J(7) SEO D(7)
SHIN H(7) SONG H(7) SONG H J(7)
公开年 2014(31)
申请年 2013(31)
专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD(31)

LEE J, CHUNG H, PARK S, BYUN K, SEO D, SONG H, HEO J, LEE J H, CHUNG H J, PARK S J, BYUN K E, SONG H J, HEO J S, HUH J, JUNG H, SONG C, SAIL D