国家/地区 欧洲专利局(EPO)(12)
IPC部 B(12)
IPC大类 C01(12)
IPC小类 C01B(12)
IPC C01B031/04(11) B82Y030/00(9) B82Y040/00(9)
C23C016/26(8) C01B032/186(4) C01B031/02(3)
H01L021/02(3) H01L021/205(3) B32B009/00(2)
C01B032/194(2) C03C017/22(2) C04B041/00(2)
C23C016/02(2) C23C016/44(2) C30B025/18(2)
发明人
公开年 2013(6) 2014(3) 2015(3)
申请年 2013(12)
专利权人 UNIV SINGAPO.(2)

ZURUTUZA E A, CENTENO P A, ALONSO R B, PESQUERA R A, ALONSO RODRIGUEZ B, CENTENO PEREZ A, ZURUTUZA ELORZA A, PESQUERA RODRIGUEZ A, AMAIA Z E, ALBA C P, BEATRIZ A R, AMAIA P R