国家/地区 美国(12)
IPC部 B(12)
IPC大类 B82(12)
IPC小类 B82Y(12)
IPC B82Y040/00(12) C01B031/04(11) B82Y030/00(10)
C30B029/02(8) C23C016/26(4) C30B025/18(3)
B32B009/00(2) C01B032/184(2) C01B032/186(2)
C03C017/22(2) C23C016/455(2) C30B025/16(2)
C30B029/60(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2013(7) 2014(4)
申请年 2013(12)
专利权人 EMPIRE TECHN.(2)