国家/地区 日本(8) 韩国(2) 美国(2)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8)
IPC小类 C01B(8) C23C(8) C30B(4)
H01L(2) H01M(2)
IPC C01B032/15(8)
发明人 AIDA H(5) AOTA N(5)
公开年 2017(7)
申请年 2016(8)
专利权人 NAMIKI SEIMI.(5)