国家/地区 中国(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C23(10) C25(5) B22(3)
B82(3) C01(3) H01(3)
B01(2) B05(2) G01(2)
IPC小类 C23C(10) C25D(4) B22F(3)
B82Y(3) C01B(3) B01J(2)
B05D(2) G01N(2) H01G(2)
H01L(2) H01M(2)
IPC C23C018/12(10)
发明人 GABEN F(2) LIN J(2) LIU X(2)
SHAO S(2) XIA Y(2) ZHANG X(2)
公开年 2020(6) 2021(4)
申请年 2020(10)
专利权人 UNIV NANJING.(2)