国家/地区 欧洲专利局(EPO)(13)
IPC部 C(13)
IPC大类 C23(13)
IPC小类 C23C(13) H01L(7) H01M(7)
C01B(4) B01J(3) B22F(3)
B82Y(3) C09D(2) C25D(2)
IPC H01L021/02(5) H01M004/04(4) B22F001/02(3)
B82Y030/00(3) C23C016/26(3) C23C016/34(3)
H01M004/13(3) H01M004/139(3) H01M004/36(3)
H01M004/38(3) H01M010/052(3) B01J035/00(2)
B01J037/02(2) B82Y040/00(2) C23C002/00(2)
发明人 GABEN F(2)
公开年 2021(12)
申请年 2020(13)
专利权人

RUOTSALAINEN T, MATTILA T, SANDBERG H, KIM W, ARPIAINEN S, MCCAFFREY C, LUOCHALAINENTEMU, HENRIK S, KIM W J, ARPIAINENSANNA, MCCAFRICOLM, JIN W, MARTTILA T