国家/地区 中国(6) 美国(4) 日本(3) 韩国(3) 世界知识产权组织(3) 德国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 台湾(2)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C23C(9) C01B(8) H01L(3)
B82Y(2) H01M(2)
IPC C23C016/56(9)
发明人
公开年 2021(5) 2022(3)
申请年 2021(9)
专利权人