国家/地区 中国(30) 美国(17) 韩国(9) 世界知识产权组织(9) 日本(6) 欧洲专利局(EPO)(4) 台湾(3) 德国(2)
IPC部 C(44)
IPC大类 C01(44)
IPC小类 C01B(44)
IPC C23C016/26(23) C01B032/186(18) C01B032/194(13)
C23C016/02(9) C01B032/184(8) B82Y030/00(7)
B82Y040/00(6) C01B032/198(5) C23C016/44(5)
C23C016/455(5) C23C016/50(5) H01L021/02(5)
C01B032/182(4) C23C014/02(4) C23C014/35(4)
发明人 WANG X(3) XU S(3) BYUN K(2)
BYUN K E(2) KIM S(2) LEE C(2)
LEE C S(2) LEE E(2) LI C(2)
LI X(2) LI Y(2) LI Z(2)
LIU M(2) SHIN H(2) SHIN H J(2)
公开年 2021(44)
申请年 2021(44)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2) TOKYO ELECTR.(2) UNIV SINGAPO.(2)