国家/地区 世界知识产权组织(11)
IPC部 C(11)
IPC大类 C30(11) H01(6) C01(4)
C23(4)
IPC小类 C30B(11)
IPC C30B025/18(3) C30B029/02(3) C30B029/36(3)
C23C016/02(2) C30B001/10(2) C30B023/02(2)
C30B029/68(2) H01L021/02(2)
发明人 MITSURU M(2) NORIYUKI M(2) TAKAYASU O(2)
TAKUJI M(2)
公开年 2022(6) 2021(3) 2023(2)
申请年 2021(11)
专利权人 ROHM CO LTD(2)