国家/地区 韩国(11) 中国(10) 世界知识产权组织(5) 美国(3) 印度(2) 波兰(2)
IPC部 C(31)
IPC大类 C23(31) H01(13) C01(10)
C30(5) B82(4) C22(3)
B05(2) B21(2) C09(2)
IPC小类 C23C(31)
IPC C23C016/26(12) C23C016/02(6) C01B032/186(5)
B82Y040/00(4) H01L021/02(4) H01M010/052(4)
B82Y030/00(3) C23C014/06(3) C23C016/40(3)
C23C016/44(3) C23C016/505(3) C30B029/02(3)
H01M004/38(3) B21B001/38(2) C23C014/18(2)
发明人 MA Y(2) WANG H(2) ZHANG Y(2)
公开年 2023(31)
申请年 2021(31)
专利权人