国家/地区 韩国(9) 美国(7)
IPC部 H(6) B(3) C(2)
G(2)
IPC大类 H01(6) B82(2) C01(2)
IPC小类 H01L(4) C01B(2)
IPC C01B031/04(2) H01L029/06(2)
发明人 CHOI C G(5) CHUNG K H(3) KIM J T(3)
YOUN D H(3) YU Y(3) YU Y J(3)
CHOI J S(2)
公开年 2014(6) 2015(2)
申请年 2013(9)
专利权人 ELECTRONICS TELECOM RES INST(9)