国家/地区 韩国(12) 美国(12)
IPC部 H(11) C(5) B(4)
G(4)
IPC大类 H01(10) C01(4) G01(3)
B82(2)
IPC小类 H01L(7) C01B(4) B82B(2)
G01N(2) H01B(2)
IPC C01B031/04(3) B82B003/00(2) C01B031/02(2)
H01L021/02(2) H01L027/32(2) H01L029/16(2)
H01L051/56(2)
发明人 CHOI C G(6) YU Y J(5) CHOI H K(4)
CHOI J S(4) KIM J T(4) CHUNG K H(3)
YOUN D H(3) CHU H Y(2) HAN J H(2)
KIM J S(2) LEE J I(2) LIM J T(2)
MOON J(2) SONG K(2) YU B G(2)
公开年 2015(8) 2014(3) 2016(2)
申请年 2014(13)
专利权人 ELECTRONICS TELECOM RES INST(13)