国家/地区 日本(8)
IPC部 H(7) C(4)
IPC大类 H01(7) C01(4)
IPC小类 H01L(7) C01B(4)
IPC H01L029/786(6) H01L029/06(5) C01B031/02(4)
H01L021/336(4) H01L051/05(3) H01L051/30(3)
C01B031/04(2) H01L029/161(2)
发明人 JIPPO H(3) KONDO T(2)
公开年 2013(6) 2012(2)
申请年 2011(8)
专利权人 FUJITSU LTD(8)