| 国家/地区 | 日本(8) |
| IPC部 | H(7) C(4) |
| IPC大类 | H01(7) C01(4) |
| IPC小类 | H01L(7) C01B(4) |
| IPC |
H01L029/786(6)
H01L029/06(5)
C01B031/02(4)
H01L021/336(4) H01L051/05(3) H01L051/30(3) C01B031/04(2) H01L029/161(2) |
| 发明人 | JIPPO H(3) KONDO T(2) |
| 公开年 | 2013(6) 2012(2) |
| 申请年 |
2011(8)
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| 专利权人 |
FUJITSU LTD(8)
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