国家/地区 日本(10) 美国(3)
IPC部 G(6) C(5) H(5)
B(2)
IPC大类 C01(5) G01(5) H01(5)
IPC小类 C01B(5) H01L(5) G01N(3)
G01R(2)
IPC C01B032/15(4) C01B032/18(4) C01B032/182(4)
G01N027/00(3) G01N027/12(2) G01R033/09(2)
H01L021/336(2) H01L029/06(2) H01L029/16(2)
H01L029/66(2) H01L043/08(2) H01L043/10(2)
发明人 SATO S(5) HARADA N(3) JIPPO H(3)
HAYASHI K(2) YAMAGUCHI J(2)
公开年 2017(6) 2018(4)
申请年 2016(10)
专利权人 FUJITSU LTD(10)