国家/地区 日本(19) 美国(2)
IPC部 H(18) C(8) G(7)
B(5)
IPC大类 H01(17) C01(8) G01(7)
H10(4) B82(3) B01(2)
C30(2)
IPC小类 H01L(17) C01B(8) G01J(7)
B82Y(3) H10K(3) B01J(2)
C30B(2)
IPC G01J001/02(7) H01L029/786(7) H01L031/08(7)
H01L021/336(5) H01L027/146(4) H01L051/05(4)
H01L051/30(4) B82Y040/00(3) C01B032/186(3)
H01L031/0232(3) H01L031/10(3) H10K071/10(3)
H10K085/20(3) B82Y020/00(2) C01B032/182(2)
发明人 HAYASHI K(7) KONDO O(5) SUDA S(4)
KONDO D(3) ASO H(2) NORIMATSU M(2)
YAMAGUCHI J(2) YAMASHITA H(2)
公开年 2022(11) 2023(8)
申请年 2021(20)
专利权人 FUJITSU LTD(20)