国家/地区 韩国(10)
IPC部 C(8) B(3) H(3)
D(2) G(2)
IPC大类 C01(6) C23(3) H01(3)
B32(2) C08(2) G01(2)
IPC小类 C01B(6) C23C(3) B32B(2)
C08K(2) G01N(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(5) C23C014/06(2) C23C016/26(2)
H01L029/16(2)
发明人 BAE S(3) LEE S(3) CHOI J(2)
KIM C(2) KIM J H(2) KIM M J(2)
KIM S J(2) KIM T W(2) LEE S H(2)
LEE S K(2) LEE T(2) LIM C(2)
SEO M(2) SEO T H(2) SON D I(2)
公开年 2017(6) 2018(4)
申请年 2016(10)
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(10)

HWANG J, PARK S G, LIM J S, JO W, LEE H J, MOON M, KU B, HWANG J Y, JO W J, MOON M W, KU B C, HUANG J, PARK S, LIN C, ZHAO Y, LEE H, YEON H J, GYU P S, SEONG I J, JIN C W, JU L H, UN M M, CHEOL G B, LIM J