国家/地区 韩国(9) 美国(5) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(10)
IPC大类 C01(9) H01(5) B82(4)
B01(2) B32(2) C23(2)
H05(2)
IPC小类 C01B(9) H01L(4) B82B(3)
B01J(2) B32B(2) B82Y(2)
C23C(2)
IPC C01B031/02(8) B82B003/00(3) C01B031/04(3)
B01J019/12(2) B32B009/00(2) B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) C23C016/26(2) H01L051/50(2)
发明人 GON S J(2) KIM H(2) LEE S S(2)
LIM S H(2) PARK M(2)
公开年 2013(4) 2012(3) 2014(3)
申请年 2012(10)
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(10)