国家/地区 中国(12)
IPC部 C(12) H(3)
IPC大类 C01(10) H01(3) C23(2)
IPC小类 C01B(10) H01L(3) C23C(2)
IPC C01B032/184(7) C01B031/04(3) C01B032/19(3)
C23C014/35(2)
发明人 XIANG J(12)
公开年 2017(4) 2016(3) 2018(2) 2019(2)
申请年 2016(5)  2018(2)  2019(2) 
专利权人 KUNMING PHYSICS INST(12)