国家/地区 美国(8) 韩国(5) 中国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(6) H(5) B(4)
G(2)
IPC大类 C01(5) H01(5) B32(2)
B82(2) C23(2) G02(2)
IPC小类 C01B(5) H01L(3) B32B(2)
B82Y(2) C23C(2) G02F(2)
H01B(2)
IPC C01B031/04(3) B82Y040/00(2) C01B031/02(2)
C23C016/26(2) G02F001/1343(2) H01L021/336(2)
H01L029/78(2)
发明人 LEE K(9) LEE S(3) LEE J(2)
LI G(2) WANG Y(2)
公开年 2013(2) 2014(2)
申请年 2013(4) 
专利权人 LEE K(9)