国家/地区 韩国(15) 美国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(11) B(7) H(6)
IPC大类 C01(11) H01(6) B01(5)
C23(3) B32(2)
IPC小类 C01B(11) H01L(6) B01J(5)
C23C(3) B32B(2)
IPC C01B031/02(10) B01J019/08(4) C01B031/04(3)
B01J019/18(2) C23C016/26(2) H01L031/18(2)
发明人 RHO J(15)
公开年 2013(8) 2014(4)
申请年 2012(8)  2013(4) 
专利权人 LG ELECTRONICS INC(15)