国家/地区 中国(21) 世界知识产权组织(2)
IPC部 G(12) H(8) C(4)
B(3)
IPC大类 G01(8) H01(8) G02(4)
B82(3) C01(3)
IPC小类 G01N(8) B82Y(3) C01B(3)
G02F(3) H01J(3) H01L(3)
G02B(2)
IPC B82Y040/00(3) G01N021/35(3) G02F001/015(3)
H01J001/304(3) H01L031/18(3) C01B031/02(2)
G01N021/3577(2) G02B005/00(2) H01J009/02(2)
H01L031/0236(2) H01L031/101(2)
发明人 DAI Q(21)
公开年 2018(6) 2016(4) 2022(4) 2014(2) 2019(2)
申请年 2018(5)  2015(4)  2019(3)  2022(3)  2014(2)  2021(2) 
专利权人 NAT CENT NANOSCIENCE TECHNOLOGY CHINA(21)