国家/地区 欧洲专利局(EPO)(10) 世界知识产权组织(9) 美国(8) 中国(3) 韩国(2)
IPC部 H(9) B(4) C(4)
G(4)
IPC大类 H01(8) G01(4) C01(3)
B01(2) B82(2) H04(2)
IPC小类 H01L(6) C01B(3) G01N(3)
B82Y(2) H01M(2)
IPC H01L029/16(4) H01L029/778(3) H01L029/786(3)
B82Y040/00(2) C01B031/04(2) G01N027/414(2)
H01L021/04(2) H01L021/683(2) H01L029/423(2)
H01L029/66(2) H01L031/0352(2)
发明人 VOUTILAINEN M(3) COLLI A(2) HAQUE S M(2)
KALLIOINEN S(2) WEI D(2) ZARRA S(2)
公开年 2016(6) 2017(4)
申请年 2015(11)
专利权人 NOKIA TECHNOLOGIES OY(11)