| 国家/地区 | 中国(11) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 | C(6) H(3) |
| IPC大类 | C01(6) H01(3) |
| IPC小类 | C01B(6) H01L(3) |
| IPC |
C01B032/186(2)
C01B032/19(2)
H01L029/16(2)
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| 发明人 |
XIE X(6)
DING G(4)
YU Q(3)
HE P(2) SHI Z(2) WU T(2) YANG S(2) YU G(2) |
| 公开年 | 2020(8) 2021(2) |
| 申请年 |
2019(11)
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| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(11)
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ZHANG X, WU T, WANG H, YU Q, XIE X
DING G, DUAN P, HE P, XIE X
ZHU H, WU T, CHEN J, ZHANG C, SHI Z, YU G
DONG H, LI Y, YANG S, DING G, XIE X
OU X, YI A, LIN J, ZHANG S, YU Q, XIE X
ZHANG M, WANG Y, LI P, XUE Z, DI Z
CHEN Z, YU G, ZHANG Y, SUI Y, LIANG Y, HU S, LI J, KANG H, WANG S
