国家/地区 中国(11) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(6) H(3)
IPC大类 C01(6) H01(3)
IPC小类 C01B(6) H01L(3)
IPC C01B032/186(2) C01B032/19(2) H01L029/16(2)
发明人 XIE X(6) DING G(4) YU Q(3)
HE P(2) SHI Z(2) WU T(2)
YANG S(2) YU G(2)
公开年 2020(8) 2021(2)
申请年 2019(11)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(11)