国家/地区 中国(14) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(9) G(8) H(6)
IPC大类 G01(8) H01(6) C01(5)
C23(3)
IPC小类 G01N(6) H01L(6) C01B(5)
C23C(3) G01D(2)
IPC C01B031/04(5) C23C016/26(2) G01D005/26(2)
G01N027/00(2) G01N027/12(2) G01N027/414(2)
H01L021/02(2) H01L031/0216(2) H01L031/028(2)
H01L031/09(2) H01L031/18(2)
发明人 LI T(15)
公开年 2014(5) 2017(3) 2022(3) 2018(2)
申请年 2013(4)  2017(4)  2022(3)  2014(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(15)