国家/地区 中国(14) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(10) H(7) G(6)
IPC大类 H01(7) C01(6) G01(6)
C23(4)
IPC小类 C01B(6) H01L(6) C23C(4)
G01N(4) G01D(2)
IPC C01B031/04(5) C23C016/26(2) G01D005/26(2)
G01N027/00(2) G01N027/12(2) H01L021/02(2)
H01L031/0216(2) H01L031/028(2) H01L031/09(2)
H01L031/18(2)
发明人 WANG Y(15)
公开年 2014(4) 2017(3) 2018(2) 2022(2)
申请年 2013(4)  2017(4)  2022(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(15)