国家/地区 中国(14)
IPC部 C(10) H(4) B(3)
IPC大类 C01(8) C09(4) H01(4)
B82(2)
IPC小类 C01B(8) C09K(4) H01L(4)
B82Y(2)
IPC C01B031/04(7) B82Y040/00(2) C01B031/02(2)
C09K005/14(2) C09K011/65(2) H01L021/336(2)
发明人 XIE X(14)
公开年 2014(8) 2013(4) 2015(2)
申请年 2013(14)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(14)