| 国家/地区 | 中国(7) |
| IPC部 | C(3) H(3) |
| IPC大类 | H01(3) C23(2) |
| IPC小类 | H01L(3) C23C(2) |
| IPC | |
| 发明人 |
WANG H(4)
XIE X(4)
JIANG M(3)
WANG X(2) WU T(2) XIE H(2) |
| 公开年 |
2016(7)
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| 申请年 |
2016(7)
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| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(7)
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SUI Y, YU G, ZHANG Y, CHEN Z, GE X, ZHANG H
CHEN J, WU T, WANG H, XIE X
WANG H, XIE H, LI L, YANG P, XIE X, JIANG M
WANG H, XIE H, WANG X, XIE X, JIANG M
LI Y, SONG Y, WANG S, ZHANG Z, ZHANG L
DI Z, JIA P, MA J, WANG G, WANG X, XUE Z, ZHANG M, ZHENG X
