国家/地区 美国(10)
IPC部 H(8) C(5) B(2)
IPC大类 H01(8) C01(4) C23(2)
IPC小类 H01L(8) C01B(4) C23C(2)
IPC H01L021/02(6) C01B031/04(4) H01L029/16(4)
H01L029/66(4) H01L021/20(3) C23C016/26(2)
H01L029/06(2)
发明人 DAVIS M A(10)
公开年 2014(8)
申请年 2013(5)  2014(4) 
专利权人 SOLAN LLC(10)