| 国家/地区 |
美国(10)
|
| IPC部 |
H(8)
C(5)
B(2)
|
| IPC大类 |
H01(8)
C01(4)
C23(2)
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| IPC小类 |
H01L(8)
C01B(4)
C23C(2)
|
| IPC |
H01L021/02(6)
C01B031/04(4)
H01L029/16(4)
H01L029/66(4) H01L021/20(3) C23C016/26(2) H01L029/06(2) |
| 发明人 | DAVIS M A(10) |
| 公开年 | 2014(8) |
| 申请年 | 2013(5) 2014(4) |
| 专利权人 |
SOLAN LLC(10)
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