国家/地区 美国(7) 中国(4) 台湾(4)
IPC部 H(7) G(3) C(2)
IPC大类 H01(7) G03(3) C23(2)
IPC小类 H01L(7) G03F(3) C23C(2)
IPC G03F001/62(3) H01L021/033(3) C23C014/16(2)
C23C014/18(2) C23C016/26(2) C23C028/00(2)
G03F001/22(2) G03F001/64(2) H01L021/768(2)
H01L023/522(2) H01L023/528(2) H01L023/532(2)
H01L029/16(2) H01L029/66(2)
发明人 CHEN C(2) LEE H(2) LI X(2)
LIN C(2) LIN Y(2) LIN Z(2)
TU C(2)
公开年 2018(7)
申请年 2016(3)  2017(3) 
专利权人 TAIWAN SEMICONDUCTOR MFG CO LTD(7)