国家/地区 中国(9)
IPC部 H(5) C(4) G(2)
IPC大类 H01(5) C01(3) G01(2)
IPC小类 C01B(3) H01L(3) G01M(2)
IPC C01B032/194(2) H01L031/18(2)
发明人 WANG X(9)
公开年 2018(4) 2021(2)
申请年 2018(3)  2021(2) 
专利权人 UNIV HEFEI TECHNOLOGY(9)