国家/地区 中国(13)
IPC部 H(9) C(4) B(2)
G(2)
IPC大类 H01(9) C01(2) C08(2)
IPC小类 H01L(6) C01B(2) C08F(2)
IPC H01L051/05(3) H01L051/30(3) H01L051/40(3)
C01B032/19(2)
发明人 GUO X(4) JIA C(4) LI P(4)
CHANG X(2)
公开年 2021(10) 2022(2)
申请年 2020(13)
专利权人 UNIV NANKAI(13)