国家/地区 中国(12)
IPC部 C(6) B(4) H(4)
IPC大类 B82(3) C01(3) H01(3)
C23(2) C30(2)
IPC小类 B82Y(3) C01B(3) C23C(2)
C30B(2) H01L(2)
IPC B82Y040/00(2) C01B032/17(2)
发明人 GUO S(2) LI Y(2) LIU Z(2)
公开年 2023(12)
申请年 2021(7)  2023(3)  2022(2) 
专利权人 UNIV PEKING(12)