国家/地区 中国(43) 台湾(23) 美国(23) 日本(6)
IPC部 B(25) C(22) H(22)
G(6)
IPC大类 B82(22) H01(22) C01(17)
C23(4) G01(4) B01(3)
C30(3) B05(2) C02(2)
IPC小类 B82Y(20) C01B(17) H01L(14)
H01M(7) B82B(3) C23C(3)
C30B(3) B01J(2) B05D(2)
C02F(2) G01N(2) G01R(2)
H01G(2)
IPC C01B031/04(16) B82Y040/00(10) B82Y030/00(9)
C01B031/02(8) H01L033/00(8) H01L033/02(7)
H01L033/12(6) H01L021/02(5) H01L021/20(4)
B82Y099/00(3) H01L029/16(3) H01L029/78(3)
H01L033/10(3) H01L033/40(3) H01M004/66(3)
发明人 FAN S(17) WEI Y(10) JIANG K(7)
LIN X(7) GUO J(6) HE X(6)
LI J(6) LV H(6) QIAN H(6)
WANG L(6) WU H(6) WU X(6)
XIAO K(6) LI W(4) REN J(4)
公开年 2013(43)
申请年 2012(36)  2013(6) 
专利权人 UNIV TSINGHUA(43)