国家/地区 美国(9) 世界知识产权组织(2)
IPC部 H(6) C(4) G(2)
IPC大类 H01(6) C01(2) C23(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2) C23C(2)
IPC H01L029/16(3) C01B031/04(2) C23C016/26(2)
C23C016/44(2) H01L029/06(2) H01L029/08(2)
H01L029/66(2)
发明人 CURRIE M(2) FRIEDMAN A L(2) JONKER B T(2)
KUB F J(2) VAN T ERVE O M T(2)
公开年 2016(5) 2015(3)
申请年 2015(9)
专利权人 US SEC OF NAVY(9)