国家/地区 美国(12)
IPC部 C(9) H(8) B(3)
IPC大类 H01(8) C01(6) B82(3)
C23(3) C12(2) C30(2)
IPC小类 C01B(6) H01L(5) B82Y(3)
C23C(3) C12N(2) C30B(2)
H01G(2) H01M(2)
IPC C01B031/04(5) H01L029/16(4) B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3) C23C016/26(3) H01L021/02(3)
C12N005/00(2) C23C016/02(2) C23C016/56(2)
C30B025/02(2) H01L029/66(2) H01M004/587(2)
发明人 ZHANG Y(12) DARLAND D(2) DENG P(2)
GUO H(2) LEI T(2) ZHANG K(2)
ZHAO J X(2)
公开年 2014(4) 2012(2)
申请年 2012(4)  2014(3) 
专利权人 ZHANG Y(12)