国家/地区 韩国(7) 美国(7) 日本(4) 中国(3)
IPC部 H(6) B(5) C(4)
IPC大类 H01(6) B82(4) C01(4)
C23(3)
IPC小类 H01L(6) C01B(4) B82Y(3)
C23C(3) B82B(2)
IPC C01B031/02(4) B82Y030/00(3) B82Y040/00(3)
H01L029/786(3) C01B031/04(2) C23C016/26(2)
H01L021/335(2) H01L021/336(2) H01L029/78(2)
H01L051/05(2) H01L051/40(2)
发明人 CHUNG H(7)
公开年 2011(7)
申请年 2010(5)  2011(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(7)

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