国家/地区 中国(10)
IPC部 C(6) B(5) H(3)
IPC大类 H01(3) B01(2) C01(2)
C07(2)
IPC小类 H01L(3) B01J(2) C01B(2)
C07C(2)
IPC B01J027/138(2) B01J037/34(2) C07C045/26(2)
C07C047/06(2)
发明人 FENG T(10)
公开年 2021(7) 2022(3)
申请年 2021(10)
专利权人 INST SEMICON.(3) JIANGSU XIWA.(2) UNIV ZHEJIAN.(2)