国家/地区 美国(6) 中国(4) 韩国(2)
IPC部 H(6) C(5) B(3)
G(3)
IPC大类 H01(6) B82(3) G01(3)
IPC小类 H01L(6) B82Y(3) G01N(3)
IPC B82Y040/00(3) G01N027/414(3) H01L051/00(3)
B82Y010/00(2) B82Y015/00(2) G01N033/543(2)
G01N033/551(2) H01L029/16(2) H01L029/66(2)
H01L029/786(2) H01L051/05(2)
发明人 HAN S(10)
公开年 2014(7) 2013(3)
申请年 2013(10)
专利权人 INT BUSINESS.(4) SHANGHAI INS.(3)