国家/地区 韩国(6) 美国(6) 日本(3) 中国(2)
IPC部 H(5) B(4) C(3)
IPC大类 H01(5) B82(3) C01(3)
C23(2)
IPC小类 H01L(5) C01B(3) B82Y(2)
C23C(2)
IPC C01B031/02(3) H01L029/786(3) B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) C01B031/04(2) C23C016/26(2)
H01L021/00(2) H01L021/336(2) H01L029/775(2)
H01L029/78(2)
发明人 HEO J(6)
公开年 2011(5)
申请年 2010(6)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(6)

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