国家/地区 中国(14)
IPC部 H(8) C(7)
IPC大类 H01(8) C01(4) C04(2)
IPC小类 H01L(7) C01B(4) C04B(2)
IPC H01L029/786(5) C01B031/04(4) H01L021/336(3)
H01L021/04(2)
发明人 HU Y(14)
公开年 2013(14)
申请年 2013(13) 
专利权人 UNIV XIDIAN(9)