国家/地区 韩国(42) 美国(36) 中国(12) 欧洲专利局(EPO)(10) 世界知识产权组织(7) 日本(3)
IPC部 H(35) C(22) G(11)
B(8) D(4)
IPC大类 H01(33) C01(17) C23(8)
B82(5) G06(5) C09(3)
D01(3) G03(3) H05(3)
B01(2) B32(2) D04(2)
D06(2) G02(2) H10(2)
IPC小类 H01L(30) C01B(17) C23C(8)
B82Y(5) C09K(3) G03F(3)
G06F(3) G06N(3) H01B(3)
H01M(3) H05K(3) B32B(2)
D01G(2) D04H(2) D06C(2)
IPC H01L029/16(12) C01B032/186(10) H01L021/02(9)
H01L029/06(8) C23C016/26(7) C01B032/182(5)
H01L021/285(5) H01L023/532(5) H01L029/423(5)
H01L029/786(5) C23C016/50(4) H01L021/768(4)
C23C016/02(3) C23C016/513(3) H01L021/324(3)
发明人 KIM C(52)
公开年 2023(13) 2022(12) 2020(7) 2021(7) 2017(4) 2015(3)
申请年 2021(13)  2022(11)  2020(7)  2019(6)  2016(5)  2014(3)  2018(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(24) KOREA INST S.(7) KIM C(3) DELL PROD LP(2)
FINE SEMITEC.(2) HYDROQUEBEC(2) KOREA ADVANC.(2) UNIV SUNGKYU.(2)