| 国家/地区 | 韩国(7) 美国(5) |
| IPC部 | C(4) H(4) |
| IPC大类 |
C01(4)
H01(4)
C23(2)
|
| IPC小类 |
C01B(4)
H01L(4)
C23C(2)
|
| IPC |
C01B032/186(3)
C23C016/02(2)
C23C016/26(2)
C23C016/513(2) H01L021/02(2) H01L021/285(2) H01L021/324(2) H01L029/16(2) |
| 发明人 |
KIM C(7)
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| 公开年 | 2021(4) 2022(2) |
| 申请年 |
2020(7)
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| 专利权人 | SAMSUNG ELEC.(4) |
HA J M, LEE S H, LEE C Y, HWANGYONGSUK, SUK J, KIM C
CHOI Y S, LEE J H, KIM C, JUNG J, JUNG J W, CUI Y, LEE J, JIN Z, ZHENG Z
LEE E, SHIN H, SHIN K, BYUN K, KIM C, LEE C, LEE C S, BYUN K E, SHIN K W, SHIN H J
CHO Y, LEE C, KIM C, SHIN H, SHIN K, NGUYEN V L, SHIN K W, SHIN H J, LEE C S, CHO Y C
KIM C, KIM S, BYUN K, SHIN H, SOHN A, JUNG J, KIM S W, BYUN K E, SHIN H J, SOHN A R, JUNG J H
SONG H, LEE E, LEE C, KIM C, BYUN K, SHIN K, SHIN H, SONG H J, LEE C S, BYUN K E, SHIN K W, SHIN H J
