国家/地区 韩国(7) 美国(5)
IPC部 C(4) H(4)
IPC大类 C01(4) H01(4) C23(2)
IPC小类 C01B(4) H01L(4) C23C(2)
IPC C01B032/186(3) C23C016/02(2) C23C016/26(2)
C23C016/513(2) H01L021/02(2) H01L021/285(2)
H01L021/324(2) H01L029/16(2)
发明人 KIM C(7)
公开年 2021(4) 2022(2)
申请年 2020(7)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(4)