| 国家/地区 | 韩国(10) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
G(5)
H(4)
B(2)
C(2) |
| IPC大类 | G03(5) H01(4) |
| IPC小类 | G03F(5) |
| IPC | G03F001/22(4) G03F001/62(4) |
| 发明人 |
KIM J K(10)
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| 公开年 |
2022(10)
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| 申请年 | 2021(5) 2020(4) |
| 专利权人 | FINE SEMITEC.(5) |
YU L, KIMCHUNG, CHO S J, KIM K S, LEE S Y, SEO K, CHOI J H, MOON S Y, KIM J K
KIM J K, JEON B S, KWON K J, SIK J
KIMCHUNG, YU L, CHO S J, KIM K S, LEE S Y, SEO K, MOON S Y, CHOI J H, KIM J K
KIM J, YANG J, CHO B, JUNG Y, KIM Y, HAN S, KIM J K, YANG J H, JUNG Y C, KIM Y C, HAN S I, HOON Y, CHO B K, CHAE C, HAN X, JIN R, ZHENG Y, ZHAO B, KIM Q
YU L, CHO S J, KIM K S, KIMCHUNG, SEO K, CHOI J H, MOON S Y, KIM J K
YU L, CHO S J, KIM K S, SEO K, MOON S Y, KIM J K
KIM J K, BAIK J M, KIM J G
YU L, CHO S J, KIM K S, SEO K W, MOON S Y, KIM J K, YOU J D, SEO K
