国家/地区 韩国(10) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 G(5) H(4) B(2)
C(2)
IPC大类 G03(5) H01(4)
IPC小类 G03F(5)
IPC G03F001/22(4) G03F001/62(4)
发明人 KIM J K(10)
公开年 2022(10)
申请年 2021(5)  2020(4) 
专利权人 FINE SEMITEC.(5)

KIM J, YANG J, CHO B, JUNG Y, KIM Y, HAN S, KIM J K, YANG J H, JUNG Y C, KIM Y C, HAN S I, HOON Y, CHO B K, CHAE C, HAN X, JIN R, ZHENG Y, ZHAO B, KIM Q