国家/地区 韩国(10) 美国(7)
IPC部 H(7) C(6) G(4)
IPC大类 H01(6) C23(4) C01(3)
G03(3)
IPC小类 H01L(5) C23C(4) C01B(3)
G03F(3)
IPC H01L029/16(4) C01B032/186(3) C23C016/02(3)
C23C016/26(3) C23C016/50(3) G03F001/22(3)
H01L021/02(3) C23C016/513(2) G03F001/62(2)
发明人 LEE C(12)
公开年 2021(5) 2022(5) 2020(2)
申请年 2020(12)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(6) S S TECH CO.(3)