国家/地区 韩国(9) 美国(5) 中国(2)
IPC部 H(8) C(5) B(2)
IPC大类 H01(8) C01(4) B32(2)
C23(2)
IPC小类 H01L(7) C01B(4) B32B(2)
C23C(2)
IPC H01L029/16(4) C01B031/04(2) C23C016/02(2)
H01L029/66(2) H01L035/14(2) H01L035/16(2)
发明人 LEE S(12)
公开年 2017(6) 2016(4) 2018(2)
申请年 2016(12)
专利权人 KOREA INST S.(3) SAMSUNG ELEC.(3) KOREA INST C.(2) UNIV PUKYONG.(2)