| 国家/地区 | 韩国(9) 美国(5) 中国(2) |
| IPC部 |
H(8)
C(5)
B(2)
|
| IPC大类 |
H01(8)
C01(4)
B32(2)
C23(2) |
| IPC小类 |
H01L(7)
C01B(4)
B32B(2)
C23C(2) |
| IPC |
H01L029/16(4)
C01B031/04(2)
C23C016/02(2)
H01L029/66(2) H01L035/14(2) H01L035/16(2) |
| 发明人 |
LEE S(12)
|
| 公开年 | 2017(6) 2016(4) 2018(2) |
| 申请年 |
2016(12)
|
| 专利权人 |
KOREA INST S.(3)
SAMSUNG ELEC.(3)
KOREA INST C.(2)
UNIV PUKYONG.(2)
|
SHIN W H, LIM Y S, SEO W S, LEE S
KIM M J, SEO T H, LEE S, KIM S M, AHN S, BAE S, SON D I
SOO L Y, SEON S W, LEE S
KIM C, LIM C, JUNG Y M, LEE D, CHOI J, SEO M, LEE T, KIM J H, LEE S, YOUNG T B
HEO J, PARK S, LEE K, LEE S, LEE E, LEE J, HEO J S, PARK S J, LEE K Y, LEE S Y, LEE E K, LEE J H
KIM C, LEE S, KIM J H, LEE T, SEO M, CHOI J, JHON Y M, WOO D H, LIM C
